功能特点:
* 内置超过65种参数，R、P和W形貌完全
* 符合ASME/ISO/JIS或MOTIF标准。
* 监察公差和统计所有参数
* 快速建立Quick&Easy测量程序
* 综合记录
* 自动功能选取标准符合过滤器和取样长度
* 根据Ra或Rz的参数规格，支持不同的评定方法(静态或动态)
* 可调整服务和检定周期
* 仿真方式使操作员能快速地熟悉仪器
* 有十三种语言选择
组成:
* 驱动器 PGK120
* 传感器连探针套装 MFW250
* 大理石机台
* 数据处理控制器 Perthometer S2
选配:
* 测量软件操作电脑系统 MarSurf XR20
* 标准块 PGN-3
* X-Y移动台
技术数据:
| 驱动器最大行程 |
120mm |
| 测量速度 |
0.1mm/s |
| 直线度误差 |
0.3um/120mm |
| 最高解析度 |
8nm/5nm(软件) |
| 驱动器调节倾斜范围 |
±1° |
| 驱动器的高度调节范围 |
50mm |
| 测量范围 |
±250um/±500um(选特定的测针) |
| 测量压力 |
0.7mN |
| 测针尖 |
半径2um/90° |
| 测量参数 |
超过40种(75种, 软件)粗糙度、波度、P-轮廓和图案参数 |
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